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中国科学院微电子研究所专利:硅腐蚀局部终止层制作方法
中国科学院微电子研究所专利:SOI器件
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中国科学院微电子研究所专利:一种FinFet器件源漏外延设备
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中国科学院微电子研究所专利:可调节沟道应力的器件与方法
中国科学院微电子研究所专利:带有存储功能的MOS器件及其形成方法
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中国科学院微电子研究所专利:逆导IGBT器件结构及制造方法
中国科学院微电子研究所专利:采用金属硅化物的功率半导体器件结构及制备方法
中国科学院微电子研究所专利:钝化半导体接触表面的功率半导体器件结构及制备方法

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