搜索结果: 1-3 共查到“知识库 电子科学与技术 氮化物”相关记录3条 . 查询时间(0.043 秒)
高温微电子器件用GSMBE氮化物材料
氮化物 微电子 GSMBE
<
2008/10/7
本项目为GSMBE技术，是MBE技术的一种，根据所使用的气体不同可 分为使用氨气的NH_3-MBE和使用氮气等离子体的RF-MBE。前者依靠热分解把氨分子分解成氮原子，而后者则利用射频电磁场将氮分子裂解成氮原子。本课题使用上述两种技术，在蓝宝石衬底上生长出了GaN薄膜材料以及AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管结构材料，并用这些材料研制出了异质结场效应晶体管（HFET）器件。研究成果达到国际先进水...