搜索结果: 1-7 共查到“电子科学与技术 微机电系统”相关记录7条 . 查询时间(0.114 秒)
2019年5月6日，微机电系统及纳米技术学科前沿论坛在西北工业大学成功举行。本次论坛主题是智能制造——微型芯片。论坛由西北工业大学学科建设办公室、机电学院主办，由空天微纳系统教育部重点实验室承办。美国工程院院士库尔特·彼得森，中国工程院院士西安交大蒋庄德，新加坡南洋理工大学、法国巴黎东大、比利时鲁汶大学、清华大学、北京大学、中科院、西北工业大学等国内外微纳技术学科著名专家参加了论坛。论坛由西北工业...
光学相干层析成像用于微机电系统测量研究
测量与计量 结构 光学相干层析成像 微机电系统
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2013/8/31
为了对硅V型槽的结构进行测量,采用热光源谱域光学相干层析成像法,进行了理论分析和实验验证,取得了硅V型槽的1维深度和2维层析图像,获得了硅V型槽的深度、上部宽度和底部宽度数据分别为145.38μm,212μm和32μm。结果表明,该测量结果与扫描电子显微镜测量值基本一致。这对微机电系统结构测量是有帮助的。
科学家研制出可自我校准的微机电系统（图）
科学家 自我校准 微机电系统
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2010/8/16
微机电系统在未来的高科技领域有很大的应用潜力，但目前它们也有一个难以克服的缺陷，那就是计量结果不够精确，彼此之间存在偏差。据《大众科学》杂志网站2010年8月10日报道，美国普渡大学的研究人员现已找到了一种方法，可以让微机电系统进行自我校准，这一研究成果有望打开研发各类超高精度的传感器和设备的大门，可在医学、工程以及国防领域发挥作用。
欧胜推出全球最高性能、超微型微机电系统麦克风
全球 高性能 超微型 麦克风
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2011/11/4
欧胜微电子近日宣布推出其全新系列硅麦克风的首两款产品，这个系列产品将于未来12个月内逐步推出。新的WM7110和WM7120是紧凑型、高信噪比模拟麦克风，适用于要求低功耗和卓越信号质量的消费应用。这两款新型芯片采用欧胜专有CMOS/MEMS(微机电系统)膜技术，在1个小型封装内提供高稳定性和高性能。欧胜同时还提供这两款芯片的升级版本WM7110E和WM7120E，这是第一款可提供±1dB灵敏度误差...
中国科学院半导体研究所微机电系统机械性能可靠性研究取得最新进展
微机电系统 机械性能 可靠性 新进展
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2008/10/17
微小尺度下材料和器件的表征是当今科学技术发展的一个关键技术，尤其是在微机电系统(MEMS)方面，其产业化成败与否很大程度上取决于对其可靠性的研究。在国家863计划、中国科学院知识创新工程等的支持下，中国科学院半导体研究所集成中心科研人员致力于这一新兴领域的研究，近日在微机电系统机械性能可靠性研究取得了最新进展。
北京大学微电子研究院微机电系统研究所（图）
北京大学微电子研究院微机电系统研究所 MEMS 硅基加工技术 微机电系统
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2007/12/10
北京大学微电子研究院微机电系统研究所成立于1995年，在王阳元院士和武国英教授领导下，从硅基加工技术的角度来开展微机电系统的研究。从1996年开始承担了“微米/纳米加工技术国家重点实验室”建设项目，以硅基MEMS加工和设计技术为主，同时承担多项MEMS研究课题。于1998年4月完成实验室建设项目验收，有工艺实验室900平米和具有国际先进水平的完善的MEMS加工设备，是国家微机电系统研究的重要加工基...
《微机电系统（MEMS）平台建设》项目通过上海市科委验收（图）
微机电系统 项目 验收
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2011/11/23
11月7日，上海市科委组织专家对我所承担的“微机电 系统（MEMS）平台建设”项目进行了验收。验收专家组听取了项目负责人王跃林研究员的汇报， 审阅了相关文档并现场考察了漕河泾分部MEMS工艺平台。 经认真讨论，验收专家组一致认为本项目实现了MEMS研发 平台向工程化平台的提升，扩大了MEMS技术平台的服务 面，建成了以芯片和封装相结合为特色的、处于国内领先 水平的MEMS工程化基地，成为我国目前尚...