搜索结果: 1-1 共查到“学术机构 电子科学与技术 微机电系统”相关记录1条 . 查询时间(0.13 秒)
北京大学微电子研究院微机电系统研究所(图)
北京大学微电子研究院微机电系统研究所 MEMS 硅基加工技术 微机电系统
<
2007/12/10
北京大学微电子研究院微机电系统研究所成立于1995年,在王阳元院士和武国英教授领导下,从硅基加工技术的角度来开展微机电系统的研究。从1996年开始承担了“微米/纳米加工技术国家重点实验室”建设项目,以硅基MEMS加工和设计技术为主,同时承担多项MEMS研究课题。于1998年4月完成实验室建设项目验收,有工艺实验室900平米和具有国际先进水平的完善的MEMS加工设备,是国家微机电系统研究的重要加工基...