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中国科学院微电子研究所“22-14纳米集成电路器件工艺先导技术”荣获2017年度国家技术发明二等奖（图）
中国科学院微电子研究所 22-14纳米集成电路器件工艺先导技术 国家技术发明二等奖
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2018/1/10
国家科学技术奖励大会于2018年1月8日上午在北京人民大会堂隆重举行。中国科学院微电子研究所与武汉新芯集成电路制造有限公司、复旦大学共同完成的“22-14纳米集成电路器件工艺先导技术”项目获得2017年国家技术发明二等奖。