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人物 电子科学与技术 学术委员会
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清华大
学学术委员会
副主任李志坚院士(图)
清华大学
中国科学院
微电子
半导体
院士
<
2004/8/12
李志坚,微电子学研究所教授,中国科学院院士。1928年生,浙江镇海人。从事半导体和微电子技术领域的教学和研究。MOS器件物理方面获二次部委科技进步二等奖,VLSI集成技术及电路方面获部委科技进步一等奖四次和国家科技进步二等奖二次,VLSI高速热处理技术获福建发明二等奖。主编《半导体材料硅》和《MOSLSI 集成技术》二书。
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