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中国科学院新疆理化技术研究所专利：一种总剂量辐照对PMOSFET负偏压温度不稳定性影响的试验方法
中国科学院新疆理化技术研究所 专利 总剂量辐照 PMOSFET 负偏压温度 不稳定性影响
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2024/1/5
本发明涉及一种总剂量辐照对PMOSFET负偏压温度不稳定性影响的试验方法，该方法是由试验样品分组及测试参数选择；试验样品的总剂量辐照及退火试验；试验样品的负偏压温度不稳定性测量组成，为了保证试验结果的一致性和准确性，首先将样品分为预辐照组、对比组及两个摸底试验组，在摸底试验的基础上对预辐照组开展确定条件下总剂量辐照和退火试验，再将对比组和预辐照组开展相同条件下的负偏压温度不稳定性试验，对比试验结果...