搜索结果: 1-15 共查到“等离子体物理学 专利”相关记录38条 . 查询时间(0.543 秒)
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种等离子体辅助磁控溅射沉积方法
中国科学院大连化学物理研究所 专利 等离子体 磁控溅射 沉积方法
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2023/12/29
本发明涉及一种等离子体辅助磁控溅射沉积镀膜技术。利用磁控溅射制备金属化合物薄膜时，为了克服靶中毒、阳极消失等现象，一般采用中频或脉冲直流反应磁控溅射方法。本发明提出一种新型的等离子体辅助沉积方法，通过在真空室内增加一等离子体放电区，工件架在随公转盘公转的同时高速自转，工件转过此等离子体放电区时，反应未完全的超薄层薄膜进一步与气体离子进行化和反应，从而得到更高化学计量比的化合物薄膜，大大提高了薄膜的...
中国科学院合肥物质科学研究院专利：面向等离子体的液态锂壁的温度负反馈控制系统及方法
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 等离子体 液态锂壁 温度负反馈 控制系统
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2023/12/27
中国科学院合肥物质科学研究院专利：面向等离子体的液态锂壁的温度负反馈控制系统及方法
中国科学院合肥物质科学研究院专利：等离子体破裂防护专用的防磁干扰大气量充气阀
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 等离子体 破裂防护 防磁干扰 大气量充气阀
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2023/12/26
中国科学院合肥物质科学研究院专利：等离子体破裂防护专用的防磁干扰大气量充气阀
中国科学院合肥物质科学研究院专利：等离子体破裂防护专用的多锂球弹丸精确自动补给系统
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种用于改善等离子体壁条件的实时锂化壁处理系统
中国科学院合肥物质科学研究院专利：高密度等离子体增强化学气相淀积与刻蚀设备
中国科学院深圳先进技术研究院专利：一种低温等离子体汽车尾气净化装置
中国科学院深圳先进技术研究院 专利 低温等离子体 汽车尾气 净化装置
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2023/12/8
中国科学院深圳先进技术研究院专利：一种低温等离子体汽车尾气净化装置
中国科学院合肥物质科学研究院专利：等离子体源正负离子协同检测离子迁移谱仪
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 等离子体源 正负离子 协同检测 离子迁移谱仪
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2023/11/16
中国科学院合肥物质科学研究院专利：等离子体源正负离子协同检测离子迁移谱仪
中国科学院合肥物质科学研究院专利：磁约束等离子体推进器高温超导磁体系统
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 磁约束 等离子体 推进器 高温超导 磁体系统
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2023/11/15
中国科学院合肥物质科学研究院专利：磁约束等离子体推进器高温超导磁体系统
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种具有参考角结构的面向等离子体实验部件
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 参考角结构 等离子体 实验部件
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2023/11/10
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种具有参考角结构的面向等离子体实验部件
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种具有参考角结构的面向等离子体实验部件
中国科学院大连化学物理研究所 专利 参考角结构 面向等离子体 实验部件
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2023/11/10
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种具有参考角结构的面向等离子体实验部件
中国科学院金属研究所专利：一种低温等离子体装置
中国科学院金属研究所 专利 低温 等离子体
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2023/11/9
本发明涉及等离子体技术以及化工合成领域,具体为一种适合碳氢化合物高温热裂解以及利用碳氢化合物高温气体进行化工合成的低温等离子体装置。该装置将行波态微波波导/同轴转换结构与直流高压等离子体放电结构实现有机的结合,直流等离子体的悬浮阴极同时也构成了波导同轴转换的内导体,直流等离子体的接地空心阳极作为波导同轴转换的外导体,通过这一复合结构将微波高效率地作用在直流等离子体上,使常规的柱状等离子体变成丝状等...
中国科学院金属研究所专利：一种等离子体阴极与保护方法
中国科学院金属研究所 专利 等离子体 阴极保护
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2023/11/8
本发明涉及等离子体技术以及化工合成领域,具体为一种应用于等离子体高温合成所使用的直流等离子体装置阴极与保护方法,解决现有等离子体阴极存在的能量利用率低、烧蚀严重的问题。该等离子体阴极为空心阴极和水冷阴极构成的复合阴极,复合阴极的一端为中空结构的空心阴极,复合阴极的另一端为带水冷结构的水冷阴极,空心阴极与水冷阴极上设有相互连通的气体通道,所述气体通道一端与气体入口连通,所述气体通道另一端与空心阴极的...
中国科学院合肥物质科学研究院专利：用于稳态托卡马克装置等离子体光学诊断的角锥棱镜
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 稳态 托卡马克装置 等离子体 光学诊断 角锥棱镜
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2023/9/14
中国科学院合肥物质科学研究院专利：用于稳态托卡马克装置等离子体光学诊断的角锥棱镜
一种用于探测自由基与反应中间体的原位热解离子源，该离子源包括样品管、推斥极、电离室、灯丝、引出极、聚焦极、出射极、推斥板和接地栅板。本发明的离子源是以样品管为起点，依次为推斥极、电离室、灯丝、引出极、聚焦极、出射极、接地栅板及推斥板。本发明与现有技术相比的优点在于：结构简单、便于清洗，被检测物质可直接在电离室中热解，热解产物将在第一时间进入检测器。本发明离子源可以用于各种化学反应中间体与自由基的探...