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强束流下微波窗损坏是限制2.45 GHz电子回旋共振(ECR)离子源寿命的主要原因，为延长离子源使用寿命，对ECR离子源微波窗损伤机理进行了研究。利用有限元软件分别计算了Al2O3陶瓷微波窗在微波、等离子体和回流电子束作用下的温度及应力分布。计算结果表明，在微波和等离子体作用下，微波窗边缘处应力最大，在电子束作用下，微波窗中心位置应力最大。增强水冷效果可降低微波和等离子体对微波窗的影响，增加Al2...
