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模拟集成电路以无线传感网络(WSN)节点芯片和系统为研究对象,包括WSN节点芯片、应用系统和平台、模式识别三个方向。
数字集成电路方向专注于大规模数字集成电路设计,主要包括:低功耗电路架构设计、嵌入式SRAM设计、GPS数字基带设计、可重构处理器架构等。
功率系统组致力于功率开关变换器的研究与开发,其中重点主要包括2个研究方面:1)功率开关电源——利用开关器件和储能元件将输入的电信号(直流或者交流)转化为特定应用场合需要的恒压或者恒流输出电信号;2)开关磁阻电机驱动器——利用多相开关桥臂将输入的电信号(直流或者交流)转化为高频输出信号以控制电机的转动。此外在工业控制等综合应用系统方面也进行了相关产品的研发工作。
器件与工艺方向的研究专注于功率半导体技术,主要包括:功率半导体器件设计、功率集成工艺开发、高压电路设计及相关功率可靠性研究等。
成果内容简介:(1)建立了1.0微米CMOS全套生产性工艺模块技术,例如:光刻工艺模块、腐蚀工艺模块、氧化工艺模块、CVD工艺模块、离子注入模块等等。(2)建立了1.0微米CMOS全套工艺工程技术,它包括:工艺流程、工艺设计规则、主要工艺参数和器件结构参数等。(3)建成了一条5in1.0微米CMOS、双阱、双层多晶硅和双层金属布线的工艺制造线;(4)建立了一套1.0微米CMOS的PCM测试结构和测...
该成果标明了中国IC大生产技术已进入1.0微米CMOS年代,增强了发展中国民族微电子事业的信念,社会反响很好,社会效益显著。该成果具有3大特点:技术先进产品市场好;技术规范国际接轨好;技术全面整体配套好。因此,该项成果有着很好的推广应用前景,在提高新产品开发速度和效率方面,这条工艺制造线,在小规模生产方面已取得良好的经济效益。如上所述,由于该成果具有技术先进产品市场好、技术规范国际接轨好、技术全面...

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