搜索结果: 1-6 共查到“知识库 电子科学与技术 工程技术”相关记录6条 . 查询时间(0.755 秒)
国家专用集成电路系统工程技术研究中心研究方向模拟集成电路(图)
国家专用集成电路系统工程技术研究中心 研究方向 模拟集成电路
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2022/8/13
国家专用集成电路系统工程技术研究中心研究方向数字集成电路(图)
国家专用集成电路系统工程技术研究中心 研究方向 数字集成电路
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2022/8/13
国家专用集成电路系统工程技术研究中心研究方向器件与工艺(图)
国家专用集成电路系统工程技术研究中心 研究方向 器件与工艺
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2022/8/13
1-1.5微米工艺技术及工艺工程技术
集成电路 微细加工工艺
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2009/3/6
成果内容简介:(1)建立了1.0微米CMOS全套生产性工艺模块技术,例如:光刻工艺模块、腐蚀工艺模块、氧化工艺模块、CVD工艺模块、离子注入模块等等。(2)建立了1.0微米CMOS全套工艺工程技术,它包括:工艺流程、工艺设计规则、主要工艺参数和器件结构参数等。(3)建成了一条5in1.0微米CMOS、双阱、双层多晶硅和双层金属布线的工艺制造线;(4)建立了一套1.0微米CMOS的PCM测试结构和测...
1-1.5微米工艺技术及工艺工程技术
集成电路 微细加工工艺
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2009/2/25
该成果标明了中国IC大生产技术已进入1.0微米CMOS年代,增强了发展中国民族微电子事业的信念,社会反响很好,社会效益显著。该成果具有3大特点:技术先进产品市场好;技术规范国际接轨好;技术全面整体配套好。因此,该项成果有着很好的推广应用前景,在提高新产品开发速度和效率方面,这条工艺制造线,在小规模生产方面已取得良好的经济效益。如上所述,由于该成果具有技术先进产品市场好、技术规范国际接轨好、技术全面...