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1~3微米碲镉汞MOCVD薄膜材料。
BaxSr1-xO3薄膜生长和铁电薄膜特性研究。
128×128元铁电薄膜红外焦平面列阵研究。
铁电薄膜微结构控制和特性研究。
钛酸铋纳米薄膜的介电性能研究。
BiMnO3薄膜铁电铁磁耦合作用的研究。
全波段室温型MnCoNi薄膜探测材料研究。
铁电聚合物薄膜在分子水平上的生长与研究。
Si基衬底上外延生长中波红外InAsSb薄膜。
铁电薄膜及其介质极化效应研究。
面向增强光电转换性能的介孔组装量子点薄膜。
作为长波红外底折射率材料的十种稀土氟化物和稀土氧化物薄膜研究。
薄膜太阳能电池材料、器件测试研究平台。
析象管是测试位置发生瞬态变化的位移跟随器的核心器件。主要用于测试大炮在打炮时引起的炮口振动,也可用于子弹落点及其他位置发生瞬态变化物体的测试。XGX-1析象管采用静电偏转,不同于国外管的磁偏转,减轻了重量,降低了功率损耗。〓主要技术性能指标:光阴极有效面积Φ20mm2,在靶导电基底上积分灵敏度60μA/Lm;静电聚焦静电偏转;微孔大小Φ50~80μm,空间分辨率20Lp/mm;总增益大于106;静...
投影光刻机为制造大规模集成电路关键设备,我所研制光学系统,机械结构由上海无线电机械厂负责。〓主要技术性能指标:焦距:f=86.4mm;放大率:M=-1/5倍;象面直径:Φ10mm;物距;342.9mm;象距:39.86mm;相对孔径:1°1.2;光拦孔径可变,最大Φ30mm。

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