方略学科导航

搜索结果: 1-1 共查到“材料表面与界面 ZnO薄膜”相关记录1条 . 查询时间(0.112 秒)

ITO上磁控溅射ZnO薄膜及其光电性质 ITO 磁控溅射 ZnO薄膜光电性质 < 2009/3/12

在ITO(In2O3:Sn)衬底上射频溅射ZnO薄膜,研究了射频溅射功率对ZnO薄膜的晶体结构,表面形貌及光学透过率的影响.结果表明,随着射频功率的提高,沿(002)方向生长的ZnO薄膜的结晶度显著增强,薄膜的表面颗粒略有减小,表面粗糙度由13.13 nm降低到5.06 nm.在300～400 nm波长范围内薄膜的光学透过率随着射频功率的增加而降低.在双层薄膜中空间内建电场的存在有助于光生电子和空...