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中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心 半导体集成技术
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2022/9/27
根据国家、中国科学院和半导体所的发展战略需要，2002年开始筹建综合性半导体工艺技术加工平台——半导体集成技术工程研究中心（以下简称中心）。中心拥有配套齐全的先进工艺平台、1700平米的超净工艺线和1100平米的办公用房，于2004年12月完成并投入使用。中心建立了规范的人员、服务和设备管理体系，具备了微纳电子学、光电子学以及微电子机械器件的集成加工及测试表征能力，对研究所科研目标的凝练、国家级重...