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复旦大学高分子科学系魏大程课题组《Accounts of Chemical Research》综述论文: 等离子体增强化学气相沉积制备二维材料及其应用研究（图）
等离子体 增强化学气相沉积 制备二维材料
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2022/7/1
随着二维材料的兴起，机械剥离、溶液剥离、化学气相沉积(CVD)等制备方法得到了极大发展。其中，机械剥离法只能得到小尺寸且形状随机的薄层材料，溶液剥离法容易引入各种杂质，CVD法最有望用于低成本批量制备二维材料。然而，在实际应用中，CVD法面临操作温度高(1000℃左右)、需要使用金属催化剂、转移过程容易引入污染和缺陷等问题。