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中国科学院上海微系统与信息技术研究所等研制出小尺寸、高消光比的低功耗硅光开关（图）
硅光开关 消光比 硅光集成
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2022/9/21
硅光集成是指利用CMOS工艺平台，将实现高性能调制、探测、传输和复用等功能的器件集成在同一芯片上，通过规模集成面向片上和片间光互连、高速光通信、集成传感和智能计算等提供性能更优、更具性价比的芯片和组件，其中低功耗、高性能的光开关是硅光集成在上述应用场景中需要的核心器件。
硅基光子芯片因其在光互连、光通信、光计算等领域的应用前景在近十年得到了广泛的关注。硅光调制器是硅光芯片中的关键器件。基于微谐振腔的小型化、低功耗的硅光调制器对提升集成规模、降低成本有较大助益，是一个重要研究方向。此类调制器的设计通常将谐振腔设置为临界耦合状态，以提高器件的关键性能（如消光比）。然而由于临界耦合状态稳定性较差，实际使用中器件的性能通常会受到较大的影响。最近，我院的江伟课题组报道了并联...