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微扰法在衍射光栅分析中的应用
光栅, 微扰法 衍射 RCWA
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2016/12/26
在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中，严格耦合波分析法（Rigorous Coupled Wave Analysis，RCWA）方法计算耗时，占用内存比较大.本文将微扰法与RCWA相结合的算法应用于二维衍射光栅分析中，以提高其计算效率.求解非矩形光栅问题时，需将光栅做阶梯近似.通过RCWA求解参考层的本征值，其余层的本征值可通过微扰法得到.实验表明，微扰法满足计算精度要求，且计算效率也能得到提...
任意曲线形状介质栅漏波天线辐射特性的改进微扰法分析
介质栅漏波天线 任意曲线形状 改进微扰法
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2009/9/23
本文是对作者前一工作(1990)的补充和发展,文中用改进的微扰法分析了任意曲线形状介质栅漏波天线的辐射特性。所得数据和用场匹配方法得到的精确值进行了比较。结果表明,本文方法在保持相同精度的情况下,极大地简化了求解过程;并据此系统地研究了周期槽形状对介质栅漏波天线辐射特性的影响。文中给出的曲线可供设计介质栅天线时参考。