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2019年5月6日，微机电系统及纳米技术学科前沿论坛在西北工业大学成功举行。本次论坛主题是智能制造——微型芯片。论坛由西北工业大学学科建设办公室、机电学院主办，由空天微纳系统教育部重点实验室承办。美国工程院院士库尔特·彼得森，中国工程院院士西安交大蒋庄德，新加坡南洋理工大学、法国巴黎东大、比利时鲁汶大学、清华大学、北京大学、中科院、西北工业大学等国内外微纳技术学科著名专家参加了论坛。论坛由西北工业...
欧胜推出全球最高性能、超微型微机电系统麦克风
全球 高性能 超微型 麦克风
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2011/11/4
欧胜微电子近日宣布推出其全新系列硅麦克风的首两款产品，这个系列产品将于未来12个月内逐步推出。新的WM7110和WM7120是紧凑型、高信噪比模拟麦克风，适用于要求低功耗和卓越信号质量的消费应用。这两款新型芯片采用欧胜专有CMOS/MEMS(微机电系统)膜技术，在1个小型封装内提供高稳定性和高性能。欧胜同时还提供这两款芯片的升级版本WM7110E和WM7120E，这是第一款可提供±1dB灵敏度误差...
北京大学微电子研究院微机电系统研究所（图）
北京大学微电子研究院微机电系统研究所 MEMS 硅基加工技术 微机电系统
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2007/12/10
北京大学微电子研究院微机电系统研究所成立于1995年，在王阳元院士和武国英教授领导下，从硅基加工技术的角度来开展微机电系统的研究。从1996年开始承担了“微米/纳米加工技术国家重点实验室”建设项目，以硅基MEMS加工和设计技术为主，同时承担多项MEMS研究课题。于1998年4月完成实验室建设项目验收，有工艺实验室900平米和具有国际先进水平的完善的MEMS加工设备，是国家微机电系统研究的重要加工基...
《微机电系统（MEMS）平台建设》项目通过上海市科委验收（图）
微机电系统 项目 验收
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2011/11/23
11月7日，上海市科委组织专家对我所承担的“微机电 系统（MEMS）平台建设”项目进行了验收。验收专家组听取了项目负责人王跃林研究员的汇报， 审阅了相关文档并现场考察了漕河泾分部MEMS工艺平台。 经认真讨论，验收专家组一致认为本项目实现了MEMS研发 平台向工程化平台的提升，扩大了MEMS技术平台的服务 面，建成了以芯片和封装相结合为特色的、处于国内领先 水平的MEMS工程化基地，成为我国目前尚...