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上海微系统所异质集成XOI课题组利用“万能离子刀”剥离与转移技术,将LiNbO3单晶薄膜与高声速、高导热的支撑衬底异质集成(如图1所示),与美国伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校合作,研制出高性能声表面波(SAW)器件。声表面波谐振器的谐振频率约1.95 GHz,导纳比高达80.1 dB,机电耦合系数高达27.8%,Q值接近2000,谐振器的综合性能品质优值(FoM)高达530,为已报道的最高值 (如图...