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集微网消息,2023年10月27日,位于江苏省南通市如东县泛半导体产业园的如东声芯电子科技有限公司首批设备进场。
上海微系统所异质集成XOI课题组利用“万能离子刀”剥离与转移技术,将LiNbO3单晶薄膜与高声速、高导热的支撑衬底异质集成(如图1所示),与美国伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校合作,研制出高性能声表面波(SAW)器件。声表面波谐振器的谐振频率约1.95 GHz,导纳比高达80.1 dB,机电耦合系数高达27.8%,Q值接近2000,谐振器的综合性能品质优值(FoM)高达530,为已报道的最高值 (如图...

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