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中国科学院金属研究所专利：薄膜材料动态弯曲疲劳性能测试系统及测试方法
中国科学院金属研究所 专利 薄膜材料 动态弯曲 疲劳性能测试
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2023/11/24
本发明涉及一种小尺度薄膜材料的动态弯曲疲劳性能测试系统的建立和测试 方法。该测试系统由电磁驱动部分、试样夹持部分和测量与观察部分组成,该系 统提供了对各种微/纳电子机械系统用有基体支持或无基体支持的薄膜材料、集成 电路用金属化互连体箔材料以及各种二维薄板类材料进行动态弯曲疲劳性能测试 的功能和测试方法,同时可以对被测试样形貌进行原位的实时监测与分析记录。 利用通电线圈在恒定磁场中所受的电磁力驱动悬...