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HEPS首次批量镜箱系统完成出厂验收（图）
HEPS 批量镜箱系统 出厂验收
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2023/6/27
2023年5月18日，中科院高能所高能同步辐射光源（HEPS）首次批量自主研制镜箱系统顺利通过出厂验收。经测试，位移调节分辨率达0.05μm，角度调节重复性达0.1μrad，真空度优于1E-7Pa，专家组一致认为设备各项性能均达到合同出厂验收标准，同意通过验收。