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平面全息离子束刻饰光栅研制
平面 全息离子束 刻饰光栅
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2023/8/21
该项目实现了理论设计、在线实时监测和工艺创新齐头并进的全息光栅制作系统，将严格电磁场理论设计方法引入到全息曝光、显影、离子束刻蚀等工艺环节，全面实施光栅理论指导下的产品形成过程的在线实时监测，设计制作出性能优异的平面全息光栅。该项目研制出国内首台全自动、平面光栅连续光谱衍射效率测试仪，提高了测试精度、检测可靠性与检测效率。该项目建立了光栅企业标注，申请修改了光栅行业标准。通过本系统设计开发，能够生...