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随着摩尔定律逼近极限，通过特征尺寸微缩来实现性能翻倍难以持续。针对未来对电子系统小型化、高性能、智能化、低功耗的需求，集成微系统技术提供了一条从单片集成平面结构到多芯片集成立体结构的重要技术途径。集成微系统技术的内涵为"微纳电子学+微纳光子学+MEMS/NEMS+架构+算法"五大技术与"传感+处理+通信+执行+能源"五大功能的深度融合，是"下一代技术革命"和"后摩尔定律时代"的主要技术解决途径。与...

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