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南方科技大学深港微电子学院汪飞课题组在Microsystem&Nanoengineering发表新型驻极体加工工艺及高性能微型能量采集器论文（图）
南方科技大学深港微电子学院 汪飞课题组 Microsystem&Nanoengineering 新型驻极体 加工工艺 高性能 微型能量采集器
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2022/10/18
近日，南方科技大学深港微电子学院汪飞课题组在新型驻极体加工工艺及微型能量采集器领域取得最新进展。针对传统驻极体材料，在高温及高湿度环境下电荷稳定性不佳的问题，研究团队提出了一种喷涂的方法，用于沉积驻极体材料提升它在高温及高湿度恶劣环境下的电荷充电能力及稳定性，并成功在MEMS静电能量采集器上得到了应用。该文章于2021年2月9日以标题” Spray-coated electret material...
集成电路标准加工工艺技术
标准加工 集成电路
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2008/10/30
该成果完成了多种工艺模块和工艺工程技术的开发,形成多种工艺综合加工技术；完成全套0.8微米CMOS工艺的开发；优化了1.0微米、1.2微米工艺；形成0.8微米、1.0微米、1.2微米三代技术兼容的标准工艺加工技术并使其工程化，从而实现了三代技术兼容的标准工艺平台；完成在线PCM工艺重量监控及参数提取技术研究;完成了十七家单位30多个电路品种共5000多片的芯片加工服务；完成了4Mb MASK RO...