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中国科学院合肥物质科学研究院专利：厚膜压阻式三轴向加速度传感器
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 厚膜压阻 三轴向 加速度传感器
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2023/12/21
中国科学院合肥物质科学研究院专利：厚膜压阻式三轴向加速度传感器
厚膜压阻式三轴向加速度传感器
加速度传感器 敏感元件 轴向桥路
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2008/9/19
该厚膜压阻式三轴向加速度传感器包括敏感元件和与其电连接的X、Y、Z轴向桥路。敏感元件部分包括外边缘的固支结构、陶瓷圆膜片、小瓷环和质量块。在改变敏感元件设计时，敏感元件和X、Y、Z轴向桥路组合成E型膜片。厚膜力敏电阻的温度特性和桥路设计可消除三轴向之间的机械耦合，对调整传感器输出和频率响应十分灵活