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过程工程所参与的“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”项目,突破了芯片用超高纯电子级磷酸和高选择性蚀刻液的进口替代难题,于1月10日上午,被授予2019年度国家科技进步二等奖。

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