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搜索结果: 1-1 共查到“材料表面与界面 高功率脉冲磁控溅射”相关记录1条 . 查询时间(0.441 秒)
采用高功率复合脉冲磁控溅射的方法(HPPMS)在不锈钢基体上制备ZrN纳米薄膜, 并研究了不同的工作气压对薄膜形貌、相结构及各种性能的影响。采用SEM、XRD对其表面形貌和结构进行分析, 发现制备的薄膜表面光滑、致密, 无大颗粒, 主要以ZrN(111)和ZrN(220)晶面择优生长, 并呈现出多晶面竞相生长的现象。对薄膜硬度、弹性模量、耐磨性和耐腐蚀性的测试发现薄膜具有很高的硬度, 最高可达33...

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