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上海光机所在EUV和软x射线分束器方面首次取得进展（图）
x射线 分束器 细胞成像
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2024/4/14
2024年3月18日，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇副研究员团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线分束器的设计与实验验证，该研究有望解决极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的分束器受限问题。相关成果以“Azimuthally extreme‑ultraviolet focal splitter by modified spira...