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中冶恩菲三项多晶硅科技成果通过鉴定
中冶恩菲 多晶硅 科技成果 通过鉴定
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2011/12/28
2011年10月23日，中国中冶所属中国恩菲工程技术有限公司及其子公司洛阳中硅高科技有限公司完成的三项多晶硅科技成果通过中国有色金属工业协会科技成果鉴定。
用真空感应熔炼和定向凝固法制备多晶硅, 通过成分测定和理论计算研究了铝杂质的除杂机理。结果表明, 在真空熔炼保温阶段(T ≥1723 K), 硅中的铝杂质明显蒸发; 在随后的定向凝固过程中, 铝杂质的分凝偏析是主要的, 但仍有部分铝蒸发。 建立了一个包括铝分凝和蒸发机制的新模型, 模拟铝在硅中的分布曲线。模拟结果与铝在硅中的实际分布符合得很好。
BF+2注入的多晶硅薄膜快速热退火后氟行为的研究
离子注入 快速热退火 氟泡
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2010/4/12
本文报道BF+2注入的多晶硅薄膜经快速热退火后的物理和电学性质。发现造成氟异常分布的原因是由于快速热退火过程中氟的外扩散以及在多晶硅/二氧化硅界面处的聚集。在注入剂量为1×1015和5×1015cm-2的样品中,经快速热退火后可以观察到氟泡。
冶金法太阳能多晶硅制备技术及应用研讨会
冶金法 太阳能多晶硅制备技术 应用 研讨会
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2009/6/4
由中国产学研合作促进会新材料专业委员会、厦门市科技局主办的冶金法太阳能多晶硅制备技术及应用研讨会将于2009年6月12日在福建省厦门市召开，会议主题：冶金化学精炼除杂技术的发展现状及展望；金属定向凝固提纯技术的发展现状及展望；真空冶金提纯技术的发展现状及展望；湿法冶金除杂技术的发展现状及展望；冶金法多晶硅的质量稳定性保证；冶金法太阳能多晶硅技术进展。