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2017年12月8日，受上海市纳米科技与产业发展促进中心、上海市纳米技术协会、中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会委托，由我校承办的“2017年上海等离子体纳米技术产业发展研讨会”在延安路校区举行。会上，上海市纳米科技与产业发展促进中心副主任费立诚先生致欢迎辞，我校理学院党委书记，研讨会筹备组组长张菁教授主持开幕式。低温等离子体技术是IC产业硅基光电材料与器件加工的关键技术，包括微纳米器件的刻...
