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中国科学院大连化学物理研究所专利：一种薄膜的测漏装置及检测方法
中国科学院大连化学物理研究所 专利 薄膜 测漏装置
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2024/1/30
本发明涉及一种薄膜的测漏装置及其检测方法；侧漏装置包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖；孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方，凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔；孔板或钢性筛网扣置于凹槽，环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方，将孔板或钢性筛网压紧于底座上。采用本发明可有效的提高对薄膜测漏的效率。