搜索结果: 1-5 共查到“半导体技术 薄膜材料”相关记录5条 . 查询时间(0.142 秒)
基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发（图）
宽禁带氧化物半导体薄膜材料 MEMS传感器
<
2022/5/30
2021年12月第一届全国博士后创新创业大赛在广东省佛山市举办，中山大学博士后青年英才积极组队参加，展现了中山大学博士后队伍建设的蓬勃气象。本届大赛以“博采科技精华 创新引领未来”为主题，共设创新赛、创业赛、海外（境外）赛和揭榜领题赛等四个组别，约1400个项目以路演和答辩为主要展示形式，线下现场赛和线上云参赛相结合，经过3天的激烈角逐，我校代表团共获得1个银奖、3个铜奖、8个优胜奖的好成绩。
PZT铁电薄膜材料的ECR等离子体刻蚀研究
等离子体刻蚀 锆钛酸铅 凝胶-溶胶工艺
<
2009/6/5
以SF6和SF6+Ar为刻蚀气体，采用电子回旋共振等离子体刻蚀工艺成功地对溶胶-凝胶工艺制备的锆钛酸铅铁电薄膜进行了有效的刻蚀去除．研究了不同气体总流量、混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响，指出当气体混合比约为20%时，刻蚀速率达到最大值．锆钛酸铅铁电薄膜表面组份XPS能谱分析曲线表明，在SF6和SF6+Ar气体中，被刻蚀后样品的Pb含量大大减少，TiO2的刻蚀是限制锆钛酸铅铁电薄膜刻蚀速率的...
VLSI/ULSI器件薄膜材料和工艺技术
集成电路 半导体材料 薄膜半导体材料
<
2009/3/3
经济、社会、环境效益及推广应用前景：1、经济效益在现有多晶硅器件制造中应用自对准金属硅化物技术，可使器件技术升级换代，发展高速CMOS器件制造技术，在亚微米器件制造中更需要对准硅化物技术。推广应用该项成果，可以产生可观经济效益，节约技术引进费用。2、社会效益：根据研究结果，专题组成员及合作者已在国内外核心期刊上和国际会议上发表论文40余篇，受到国际上的重视、摘录和引用，由SCI检索查到的近年引用论...
VLSI/ULSI器件薄膜材料和器件工艺技术
集成电路 半导体材料 薄膜半导体材料
<
2009/3/3
经济效益分析：采用SOI材料制备的集成电路具有高速、低功耗、抗辐照、消除CMOS自锁效应、高可靠性等独特特点。另外，国外在军事和空间运用方面，用SPI技术对中国封锁，即使购到少量的SOI材料价格也十分昂贵，因此发展甸的SOI技术是十分迫切的。目前，国内某些单位主要研究注氧隔离(SIMOX)和硅片键合(BFSOI)等SOI技术，尚无单位研究注氧多化硅全隔离(FIPOS)SOI技术。该成查的研究采用多...