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中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心研究方向光电子器件工艺与检测平台技术
中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心 研究方向 光电子器件工艺与检测平台技术 光电子器件 工艺与检测
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2022/10/4
中国科学院半导体所国家工程中心所属半导体所元器件检测中心，是半导体所可靠性检测平台，先后为大功率激光器、激光探测与制导等产品和项目提供湿热和温度冲击、离心等适应能力和结构可靠性方面的检测服务，为国家工程中心各项目的顺利实施提供了保障。
空间飞行器平台大气密度的在轨测量
激光雷达 大气密度 瑞利散射 飞行器
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2017/2/21
针对飞行器在轨飞行时高空大气密度波动剧烈、气动特性辨识难度大等特点，提出了一种基于瑞利散射理论的成像激光雷达大气密度测量方法。利用气体分子的瑞利散射光强与分子密度成正比的特性，通过分析电子倍增成像探测器（EMCCD）拍摄的测量流场区域内激光后向瑞利散射光柱，得到了不同距离处高精度的在线大气密度数据。搭建了基于空间飞行器平台的大气密度在轨测量装置，并对该装置进行了标定。结果表明，所述方法对大气密度的...
针对永磁直线同步电机激光切割运动平台的位置伺服控制低抖振、高精度、强鲁棒的要求，在传统双幂次滑模趋近律的基础上，提出一种变边界层的双幂次滑模趋近律带滑模扰动观测器的复合趋近律滑摸控制方法。变边界层方法是对控制系统的控制精度要求和降低抖振的权衡，而所提出的方法又继承了传统双幂次滑模趋近律方法的有限时间收敛特性。为了降低控制系统设计的保守性，设计了一种基于超螺旋算法的滑模扰动观测器对系统的未知扰动进行...
非共振型压电电机驱动的大行程精密定位旋转平台的建模和实验
大行程旋转平台 非共振压电电机 精密定位 光波导封装
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2016/12/16
针对目前光波导封装使用的精密定位平台行程小，结构与控制系统复杂的问题，提出了非共振型压电电机驱动的大行程精密旋转定位平台。该平台通过压电电机的连续作动和步进作动两种工作模式来满足大行程和高精度要求。首先对该精密旋转定位平台进行动力学建模，确定了系统运动方程。然后，分析其作动机理，研究影响旋转平台转速的不同因素。最后，实验研究该精密旋转定位平台的速度、步距、分辨率与负载特性，确定平台连续作动与步进作...
利用激光方式清除低轨大量的厘米级空间碎片已经成为国际上的研究热点。激光清除空间碎片是巧妙地利用了碎片在激光辐照下的冲量耦合特性和冲量作用下的减速降轨特性。围绕着冲量耦合和减速降轨特性,讨论了激光辐照下空间碎片等离子体羽流喷射、激光辐照空间碎片冲量耦合效应测试、天基平台激光辐照下空间碎片轨道预测以及用于碎片清除的天基平台激光器参数设计四个关键问题,分析了涉及的技术难点,可采用的研究方法,以及能够实现...
TDICCD相机平台振动所致的MTF空间移变降质
卫星振动 TDICCD相机 复原质量 MTF空间移变降质
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2016/7/28
卫星振动不仅会引起TDI（Time Delay and Integration）CCD相机像元采样的不规则性，还会引起像元弥散斑空间分布的不一致性，导致图像传递函数（Modulation Transfer Function，MTF）产生空间变化，从而制约高分辨率图像振动复原质量。本文从卫星振动对TDICCD相机推扫成像采样过程的作用机理出发，结合理论推导与仿真研究，得到了平台振动引起的图像空间移变...
分析空间激光通信移动平台角运动和框架偏转之间的速度耦合关系,给出克服移动平台角运动的视轴稳定方法,针对视轴稳定系统中存在的非线性、多干扰问题,应用自抗扰控制法对三轴视轴稳定系统进行分散独立控制,采用模糊理论对自抗扰控制器的相关参量进行自整定.仿真和模拟实验表明:在1 Hz条件下,相对于参量辨识控制法,模糊自抗扰控制法的抗扰动隔离度提高了7.4 dB;在模拟扫频实验条件下,将1~2 Hz与2~4 H...
为了提高四轴抛光平台的加工精度,本文针对以气浮平台和旋转台为主要运动方式的四轴抛光平台进行了几何与热综合误差建模与补偿研究。采用激光干涉仪、温度传感器等测量仪器分别对平台X、Z轴在不同温度下的定位误差进行重复测量与分析,证实了不同进给速度对定位误差没有显著影响。得到了四轴抛光平台X、Z轴的定位误差与温度之间的变化规律。基于正交多项式和插值算法分别建立了X、Z轴的几何与热综合误差模型。根据综合误差模...
快速控制反射镜两轴柔性支撑平台刚度优化设计
椭圆弧柔性铰链 柔性支撑平台 刚度优化 固有频率
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2016/2/22
基于椭圆弧柔性铰链兼顾了直梁型柔性铰链运动范围大和圆弧型柔性铰链运动精度高的特点,设计了基于椭圆弧柔性铰链的二维快速控制反射镜系统两轴柔性支撑平台。为使柔性支撑平台快速响应性好,即使其低阶固有频率最大化,对该柔性支撑平台进行了结构优化设计。理论推导了单个柔性铰链最大刚度与许用应力、转角和铰链参数的理论计算公式。然后,采用集总参数的分析方法,得出了两轴柔性支撑平台低阶最大固有频率的理论计算公式。由公...
考虑空间卫星平台微振动环境对高分辨率空间光学遥感器成像质量的制约，提出了在地面测试光学遥感器耐受空间微振动环境裕度的六自由度激振平台的设计方案。建立了平台的运动学与动力学模型，推导出促动器音圈电机的传递函数并建立了Simulink模型。基于设计的模型研制了六自由度平台。对振动平台样机进行了振动加速度控制精度的验证实验，实验以典型的卫星平台微振动频率点为测试输入。实验结果表明平台振动频率为7~40 ...
背景在椭圆轨道红外监视平台的成像特性分析
红外成像特性 成像模型 椭圆轨道 天基红外系统
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2016/7/29
掌握背景在椭圆轨道红外监视平台成像特性是开展红外图像数据处理的基础。首先,构建了椭圆轨道红外监视平台的几何投影模型和信号传递模型,给出了红外传感器的成像模型;其次,分析了平台姿态、背景本体相对运动、卫星轨道等因素对背景成像特性的影响,并推导给出了相关数学影响模型;最后,通过仿真试验验证了数学推导模型的正确性,并给出了背景成像特性的综合仿真结果。分析结果表明:椭圆轨道红外监视平台探测图像中,背景呈现...
红外导引头稳定平台主框架拓朴优化设计
机械设计 拓扑优化 变密度法 红外导引头
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2016/7/28
为了提高红外导引头稳定平台动态性能,减小振动环境对其稳定精度和光电载荷成像质量的影响,采用基于变密度法的拓扑优化理论,利用NX/TOSCA软件,以刚度最大化为目标函数,以体积比约束为设计响应约束,对红外导引头稳定平台主框架进行了拓扑优化设计。对比分析了经优化设计和经验设计的主框架结构形式的刚度及模态振型。结果显示,经拓扑优化的主框架在动态性能有所提高的情况下,结构质量大幅地减小,最大变形量由3.2...
应用于可穿戴微光成像系统的嵌入式平台设计
微光成像系统 DM3730 OLED 嵌入式系统
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2016/7/28
得益于嵌入式软硬件平台的迅猛发展,可穿戴式成像设备成为发展的新趋势,并对传统便携式成像设备产生了深刻的影响。以集成了TI DM3730双核异构处理器、SDRAM、NAND Flash及电源管理的Jorjin AP模块作为处理核心,接入低功耗、小型化微光探测器和高分辨率的OLED微显示器,设计构成了应用于微光环境下目标辅助观察的嵌入式平台。平台对并行视频信号做差分对转换,提高视频传输距离和稳定性的同...
高速精密定位平台振动误差补偿
宏微定位平台 振动模型 压电陶瓷 误差补偿
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2015/12/26
搭建了宏微结合精密定位系统以便减小定位平台在Z方向的振动误差,实现高精度定位。该系统由高性能直线电机驱动,气体静压导轨支撑和导向的宏动平台实现系统的大行程微米级定位,由安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台对系统进行Z方向定位精度补偿。建立了定位系统Z向振动模型,采用模糊PID控制策略,用电容式微位移传感器实时检测定位系统终端的位置输出信号并将其作为微动台的输入信号,实现了定位系统的闭环反馈控制,...