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LED蓝宝石衬底的表面质量会极大影响到后续外延质量，进而影响到LED器件性能。蓝宝石研磨片经Al2O3磨粒粗抛液、SiO2磨粒精抛液下进行化学机械抛光（CMP），最终表面经原子力显微镜（AFM）所测表面粗糙度达到0.101 nm，获得亚纳米级粗糙度超光滑表面，并呈现出原子台阶形貌。同时，通过使用Zygo表面形貌仪、AFM观察蓝宝石从研磨片经Al2O3粗抛液、SiO2精抛液抛光后的表面变化，阐述蓝宝...
