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基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计热蒸发膜厚均匀性行星夹具修正挡板遮挡矩阵 < 2014/3/6

为了在光学元件镀膜过程中精确控制膜厚均匀性，通常需要有针对性地设计并制作膜厚修正挡板。然而，由于基底在真空室内运动方式复杂，实际工作中通常采用多次试验，反复进行局部修正的方法来确定挡板形状。为解决这一问题，本文提出了遮挡矩阵的概念。基于这一概念，提出了膜厚修正挡板的设计方法。通过对挡板进行合理的划分，对膜厚空间分布与挡板形状建立起精确的定量关系，从而可在不需进行事后修正的情况下，准确计算出修正挡板...