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一种检测GaN基材料局域光学厚度均匀性的方法
均匀性光学厚度 GaN基材料
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2008/11/24
该方法是检测GaN基材料局域光学厚度均匀性的方法。采用显微荧光光谱测量,将测得数据进行处理获得振荡干涉谱,再对干涉谱进行干涉峰位线性拟合,进而得到材料的光学厚度,然后用常规的统计方法就可直接得到厚度不均匀性的分布特征。该方法可为材料生长工艺优化研究提供丰富的信息,特别对严重损害器件质量的局域非均匀性检测方面具有明显的意义。