搜索结果: 1-3 共查到“半导体技术 RF MEMS”相关记录3条 . 查询时间(0.045 秒)
研究人员制备成功RF MEMS振荡器（图）
研究人员 制备 RF MEMS振荡器
<
2014/1/8
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，制备成功RF MEMS振荡器。
宽带直接接触式RF MEMS开关
射频微机电开关 直接接触式 宽带 宽驱动电压
<
2014/5/14
本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关，包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区，兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关，使用低温表面微机械工艺，制作在400μm厚的高阻硅衬底上，芯片尺寸0.8mm×0.9mm。样品在片测试结果表明，在6GHz频点，开关本征损耗0.1dB，隔离度24.8dB，等效开关接触电阻0.6Ω，关态电容6.4f...